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产品描述
PS1L100-200U/300U紧凑型线性纳米定 位台，沿X方向可提供200μm/300U行程的运动。其紧凑的设计使其成为许多光子学和光纤定 位应用的理想工具。其中PS1L100-300U具有更高的动态特性。压电纳米台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电纳米台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电纳米台具有极佳的运动控制精度，定 位精度、分辨率和稳定性。
高负载压电定 位器是我们超快速和高负载能力系列产品线中的一部分。它提供了高达300μm的定 位和扫描范围。当将它们堆叠为XY配置时，这也是可能的。 由于FEA的优化这款平台提供了高的动态性能和出色的引导精度。 即使在非常紧凑的包装中实现高质量负载，也可以实现这一点。 本系列系列专为半导体，激光和光学以及测试与测量领域中的纳米定 位任务而设计
我们压电平台优化了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械间隙和摩擦力，我们所有压电平台和纳米定 位器均具有这一功能。
产品特性
—高柔性铰链确保高可靠性
—运动可达300μm（闭环）
—承重达3.5kg
—可提供XY版本
选配功能
—可定制转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—定制安装转配孔
应用领域
—激光光学、迈克尔逊干涉
—扫描系统、工件疲劳测试
—生命科学、高速物镜聚焦
—机械工具、纳米定 位
